创立：中科院孵化，“芯” 梦启程
2002 年，在国家对半导体产业的前瞻性布局与战略需求下，芯源微在沈阳这片土地上诞生，由中科院沈阳自动化研究所发起创立。这一创立背景，源于中科院 “两个轮子走路” 的方针：一方面面向基础研究及国家重大战略需求；另一方面面向国民经济主战场 。当时，半导体装备几乎 100% 依赖进口，市场空间巨大，但研发难度大、周期长、见效慢。沈阳自动化所虽在半导体技术上没有相应基础，却毅然决定采取引进技术、消化吸收再创新的发展模式，与韩国公司合资合作，引进韩国技术，踏上半导体设备国产化的征程。
宗润福，这位 1988 年就进入中科院沈阳自动化研究所工作，历任研究员、室主任、科技处长的科研人员，在 2002 年 12 月，作为自动化所的投资方代表，参与创立了沈阳芯源公司，担任董事长、总经理，开启了他在半导体装备领域的创业之路。当时，国内半导体装备研发几乎是零基础，宗润福带领团队在与韩国人谈判的过程中，充分意识到风险和困难，但依然坚定地选择了这条充满挑战的道路，芯源微的创业路也因此被总结成 “一条好汉、一个方向、一面旗帜”。
困境中坚守：自主研发的艰难岁月
创业初期的芯源微，面临着诸多困境。国内半导体市场尚处于萌芽阶段，有限的客户并没有扩产的需求，这使得芯源微的产品销售遭遇了极大的阻碍，公司一度举步维艰，宗润福甚至曾为了筹措员工下个月的工资而发愁。
在艰难的处境下，芯源微也面临着不少诱惑。当时，行业内一些企业通过翻新二手设备来赚取快钱，这种看似轻松的盈利模式对芯源微来说是一种不小的诱惑。然而，芯源微始终牢记自己的使命，坚守自主研发的道路。宗润福认为，翻新二手设备虽然能在短期内解决公司的生存问题，但从长远来看，这种商业模式无法形成核心竞争力，企业的生命期也会很短 。作为一家由中科院发起的高新技术企业，芯源微的使命是发展国产设备，推动半导体装备国产化进程。如果选择涉足二手设备翻新，不仅会偏离公司的发展方向，还可能挤压国产设备的发展空间。
在没有订单、资金紧张的情况下，芯源微凭借着坚韧、坚定、坚持的个性，以及中科院工作培养出来的科研作风和狼性文化，咬牙坚持了下来。他们从有限的客户入手，秉持着 “做一个、成一个” 的理念，不断提升客户的信任度，与此同时，努力提升员工的能力和信心，锻炼出了一支优秀的团队，在困境中逐渐形成了正向循环，为未来的发展奠定了基础。
转机与突破：LED 热潮中的崛起
2009 年，对于芯源微来说，是一个命运的转折点。这一年，国内 LED 行业迎来了爆发式的增长，如同一场及时雨，滋润了芯源微这颗在困境中坚守的种子。随着 LED 芯片市场需求的急剧攀升，芯源微凭借着前期积累的技术优势和产品研发能力，迅速在这片新兴市场中崭露头角。
在技术层面，芯源微的技术平台和产品水平在 LED 领域展现出了明显的竞争优势。经过多年的自主创新和持续研发迭代，其产品性能全面超越了进口设备。在关键的涂胶显影环节，芯源微的设备能够实现更高的精度和稳定性，确保 LED 芯片的生产质量和效率。在清洗工艺上，芯源微的设备也能更好地满足 LED 芯片对洁净度的严格要求，有效提升了芯片的良品率。这些技术优势，使得芯源微在 LED 设备市场中脱颖而出，相关设备的市场占有率一路飙升，最终超过了 50%，成为了国内 LED 设备领域的领军企业。
同年，芯源微承担了国家重大专项，这一项目不仅为公司带来了充足的科研经费，更意味着芯源微正式进入了国家队序列，从一家地方企业跃升为国家重点支持的半导体设备企业。这一身份的转变，为芯源微的发展提供了更广阔的平台和更多的资源，也让芯源微在半导体设备领域的影响力得到了极大的提升。此后，芯源微连续两次承担国家 02 科技重大专项，凭借在技术研发和产品创新方面的卓越表现，连续获评国内半导体设备十强，还成为了首批国家级专精特新 “小巨人” 企业，在半导体设备行业中站稳了脚跟，为后续的发展奠定了坚实的基础。
科创板上市：迈向新征程
2019 年 12 月 16 日，对于芯源微来说，是一个具有里程碑意义的日子。这一天，芯源微成功登陆上海证券交易所科创板，股票代码 ，正式开启了在资本市场的新征程。作为辽宁省科创板第一股和国内半导体光刻工艺设备第一股，芯源微的上市备受瞩目，开盘当日，其发行价格为 26.97 元，收盘价格已达 64.5 元，当日涨幅达 139.15% ，这一成绩不仅彰显了市场对芯源微的高度认可，也标志着芯源微从此进入了一个全新的发展阶段。
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