第二次中期评估的结果,像一颗重磅炸弹,在半导体行业掀起了巨浪。
《科技日报》头版头条:“‘风鹏计划’取得重大突破,EUV工程样机性能达国际先进水平”。
《经济观察报》专题报道:“从设备到工艺的完整突破——风华集团如何走通EUV自主之路”。
《人民日报》评论员文章:“自主创新铸就国之重器——从‘风鹏计划’看中国科技企业的担当”。
报道铺天盖地,赞誉接踵而至。但最引人关注的,是一组数据——工程样机连续运行2000小时无故障,光刻精度达到7纳米,工艺成功率95%以上,关键性能指标达到国际最新型号的85%。
这意味着,中国在EUV这个被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”的领域,已经实现了从0到1的突破,并且正在快速追赶。
行业震动,国际关注。
ASML(阿斯麦)的股价应声下跌3%。这家荷兰公司是全球唯一的EUV供应商,长期以来垄断市场。现在突然出现一个潜在的竞争者,而且来自中国,这让他们感到了压力。
英特尔、台积电、三星等芯片制造巨头,纷纷发表声明,表示“关注中国EUV技术的发展”,但“对现有供应商的技术领先地位充满信心”。
潜台词是:你们还差得远,但我们已经注意到你了。
于德利看到这些报道,气得摔碎了办公室里的景德镇瓷器。
“不可能!绝对不可能!”他对副总咆哮,“他们的样机才运行几个月,怎么可能达到85%的性能?一定是造假!数据造假!”
副总小心翼翼地说:“于总,这次是国家级的评估,专家都是行业权威,造假的可能性不大。而且......而且我听说,陈雪茹加入了他们的团队。”
“陈雪茹?”于德利皱眉,“那个从英特尔回来的?”
“对。她在英特尔干了十年,是工艺整合专家。她的加入,对风华的工艺开发帮助很大。”
“妈的!”于德利狠狠拍桌子,“我早就该想到!韩风这小子,不仅挖设备人才,还挖工艺人才!他这是要打造完整的产业链!”
“于总,我们怎么办?我们的技术引进项目,进展不太顺利。欧洲那边要价太高,而且很多关键技术不愿意转让。”
“加钱!”于德利咬牙,“不管花多少钱,都要把技术弄过来!我们不能让韩风抢了先机!”
“可是资金......”
“我去想办法!”于德利说,“你继续跟进,有什么进展随时汇报。”
与此同时,风华半导体研究院里,却是另一番景象。
评估通过后,团队没有时间庆祝,立即投入了下一阶段的工作。工程样机要优化,量产机型要设计,工艺要进一步完善,团队要扩大,资金要规划......
韩风召开了全体大会。
“各位,评估通过了,这是对我们过去工作的肯定。”他在台上说,“但我们不能松懈,因为真正的挑战才刚刚开始。工程样机只是验证了可行性,量产机型才是真正的考验。”
他展示了一张时间表:“接下来一年,我们的任务是:第一,完成工程样机的所有验证,拿到量产许可;第二,完成量产机型的详细设计;第三,建立完整的生产工艺体系;第四,培养一支能打硬仗的量产团队。”
“任务很重,时间很紧。但我们现在有条件了——有国家的支持,有投资人的信任,有团队的拼搏。只要我们同心协力,一定能完成任务!”
“有没有信心?”
“有!”全场齐声回答。
会议结束后,韩风把核心骨干留下,开了个小会。
“现在外界对我们的关注度很高,这是好事,也是压力。”他说,“我们要把压力变成动力。张总,量产机型的设计什么时候能启动?”
“下个月。”张建国说,“我们已经完成了工程样机的所有测试,数据很充分。量产机型的设计,可以基于这些数据,做优化和简化,提高可靠性,降低成本。”
“李教授,材料方面呢?”
“特种陶瓷镜片的自主生产,已经取得了突破。”李教授汇报,“我们自己的高温烧结炉运行稳定,第一批镜片样品性能达到了进口产品的90%。再给我们三个月,就能达到100%。”
“陈总监,工艺方面?”
陈雪茹说:“工艺体系已经基本建立,但还需要在量产机型上进行验证。我建议,量产机型的第一台,就作为工艺验证机。设备调试和工艺开发同步进行,可以节省时间。”
“这个建议好。”韩风点头,“那就这么定。量产机型的第一台,既是设备验证,也是工艺验证。我们要走出一条设备工艺一体化的新路。”
接下来的几个月,团队开始了紧张的工作。设计组日夜绘图,材料组批量试产,工艺组优化流程,装配组准备产线。
韩风穿梭在各个部门之间,协调资源,解决问题。他的身影出现在设计室,出现在实验室,出现在车间,出现在每一个需要他的地方。
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