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二百九十章 幸运月

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从越对着厨房说道:“面条就很好了,麻烦你了阿姨!”

熊院士打断了从越的话问道:“从总你赶紧说什么事啊?”

从越满脸兴奋的说道:“好消息,193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源研发成功了,这个月两台光源就将运到你这里,第四代光刻机可以开始制造测试了!

熊院士一听,立即问道:“最高加工精度多少?”

从越比划了一下:“35-120nm之间!”

熊院士又问道:“是用什么扫描方式?”

从越回道:“用的还是步进式!”

熊院士兴奋的说道:“可以是可以,但我们刚刚有了一个方案,从理论上来说如果用浸没式步进扫描的话精度应该会更好。本来想用在三代光刻机上的,这下直接用在四代机上更合适!”

从越突然想到了:“用纯水?”

熊院士回道:“是的,纯水不会有杂质,能更好的的反射光源!”

从越立即拍腿道:“这个方案可行性很高,我支持!”

这是熊夫人将面条端给了从越:“小从,赶紧吃饭,吃完饭再聊工作,身体最重要!”

从越接过面条:“谢谢!阿姨!”

从越也确实饿了,一顿稀里哗啦就把一大碗面给干完了,熊夫人还要给他盛,从越赶紧拒绝道:“饱了饱了!阿姨千万别再给我盛了!”

吃饱之后,从越继续跟熊院士进行一些技术上的探讨,直到很晚,从越见时间不早了害怕影响熊院士休息,就赶紧告辞回家了,约好明天上班再聊!

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